
在真空技術(shù)領(lǐng)域,設(shè)備的穩(wěn)定性、極限真空度與環(huán)境適應(yīng)性始終是衡量其性能的核心標(biāo)尺。ULVAC愛發(fā)科作為真空技術(shù),其GLD-137CC油回轉(zhuǎn)真空泵(旋片式)以“高功能規(guī)格"為設(shè)計(jì)理念,在安全性與功能性層面實(shí)現(xiàn)了全面進(jìn)化,成為化學(xué)分析、半導(dǎo)體制造及科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域的理想背泵選擇。
GLD-137CC屬于ULVAC GLD系列的高性能型號(hào),定位為低中真空領(lǐng)域的核心抽氣設(shè)備。該泵采用兩級(jí)排氣系統(tǒng)設(shè)計(jì),相比單級(jí)泵能夠?qū)崿F(xiàn)更低的極限壓力,確保優(yōu)異的真空獲得能力。
產(chǎn)品提供日本原產(chǎn)(GLD-137CC)與中國(guó)產(chǎn)(GLD-N137)兩種配置,滿足不同市場(chǎng)的需求,但核心技術(shù)參數(shù)與品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)保持高度一致。
GLD-137CC在技術(shù)架構(gòu)上的精進(jìn),體現(xiàn)了ULVAC對(duì)用戶場(chǎng)景的深度理解:
兩級(jí)排氣架構(gòu)使得泵體能夠在更寬的壓力范圍內(nèi)保持穩(wěn)定的抽氣性能。在50Hz電源下,有效排氣速度可達(dá)135 L/min;60Hz下則提升至162 L/min,兼顧了不同電網(wǎng)地區(qū)的使用需求。
關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥(G.V.Closed)時(shí),極限壓力可達(dá)0.67 Pa;開啟氣鎮(zhèn)閥(G.V.Open)時(shí),極限壓力為6.7 Pa。這一數(shù)據(jù)基于皮拉尼真空計(jì)測(cè)量,若使用麥?zhǔn)险婵沼?jì)測(cè)量,對(duì)于極限壓力1.3Pa以下的泵,數(shù)值還會(huì)低一個(gè)數(shù)量級(jí),進(jìn)一步印證了其高真空獲得能力。
GLD-137CC配備了多項(xiàng)提升可靠性與安全性的機(jī)構(gòu):
防回流機(jī)構(gòu):在因停電等緊急情況停機(jī)時(shí),可有效防止泵油倒流回真空室,保護(hù)系統(tǒng)免受污染。
強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu):確保排氣速度穩(wěn)定,即使在工況變化時(shí)也能維持可靠的潤(rùn)滑與密封。
氣鎮(zhèn)閥:可去除吸入氣體中的水分及其他可凝性物質(zhì),防止其溶解在泵油中導(dǎo)致性能劣化,尤其適用于處理含有水汽的工藝環(huán)境。
寬電壓馬達(dá):配備多范圍通用電機(jī),可在任何電壓下使用,只需簡(jiǎn)單切換線路即可適應(yīng)100-120V或200-240V電源,大幅提升了設(shè)備的國(guó)際通用性。
通過精密的動(dòng)平衡設(shè)計(jì)與結(jié)構(gòu)優(yōu)化,GLD-137CC實(shí)現(xiàn)了出色的運(yùn)行與低振動(dòng)特性,為實(shí)驗(yàn)室及潔凈車間提供了友好的工作環(huán)境。
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格(50Hz) | 規(guī)格(60Hz) |
|---|---|---|
| 有效排氣速度 | 135 L/min | 162 L/min |
| 極限壓力(G.V.Closed) | 0.67 Pa | 0.67 Pa |
| 極限壓力(G.V.Open) | 6.7 Pa | 6.7 Pa |
| 使用電動(dòng)機(jī) | 單相, 100-120V/200-240V, 400W, 4P | 同左 |
| 全負(fù)荷電流 | 6.8A(100-120V)/3.5A(200-240V) | 5.8A(100-120V)/2.9A(200-240V) |
| 油量 | 1,000 mL | 1,000 mL |
| 推薦用油 | SMR-100 | SMR-100 |
| 重量 | 29 kg | 29 kg |
| 吸氣管徑 | KF-25 mm | KF-25 mm |
| 使用環(huán)境溫度 | 7~40℃ | 7~40℃ |
| 外形尺寸 | 170(W)×487.5(L)×249.5(H)mm | 同左 |
數(shù)據(jù)來源:ULVAC規(guī)格表
GLD-137CC憑借其穩(wěn)定的性能和可靠的防護(hù)設(shè)計(jì),廣泛應(yīng)用于多個(gè)高科技領(lǐng)域:
作為化學(xué)實(shí)驗(yàn)、分析儀器及激光應(yīng)用設(shè)備的真空源,其穩(wěn)定的極限真空度確保了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的可重復(fù)性與準(zhǔn)確性。
在半導(dǎo)體制造設(shè)備、濺射設(shè)備、真空蒸發(fā)設(shè)備中,GLD-137CC常作為高真空系統(tǒng)的背泵(前級(jí)泵),為分子泵或擴(kuò)散泵提供必要的預(yù)備真空。
用于電子顯微鏡的粗抽系統(tǒng),快速建立初級(jí)真空,縮短系統(tǒng)循環(huán)時(shí)間。
在真空干燥機(jī)、冷凍干燥機(jī)中,其穩(wěn)定的抽氣能力和氣鎮(zhèn)閥設(shè)計(jì)能夠有效處理干燥過程中釋放的水汽,保持泵油性能。
為確保GLD-137CC長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行,用戶需關(guān)注以下操作要點(diǎn):
定期換油:真空泵油隨著運(yùn)行會(huì)逐漸劣化,導(dǎo)致性能下降。需定期檢查油位是否充足、油質(zhì)是否污染,并及時(shí)補(bǔ)充或更換。推薦使用ULVAC SMR-100專用真空泵油。
防回流機(jī)構(gòu):雖然泵內(nèi)置了防回流閥機(jī)構(gòu),可在斷電時(shí)防止油液倒流,但長(zhǎng)期停機(jī)后應(yīng)將真空側(cè)恢復(fù)至大氣壓,以確保安全。
油霧處理:排氣口產(chǎn)生的油霧(油煙)在接近大氣壓運(yùn)行時(shí)尤為明顯,建議根據(jù)工況配置油霧過濾器。
避免高壓連續(xù)運(yùn)行:本泵不適合在10kPa或更高的吸入壓力下連續(xù)操作,否則可能導(dǎo)致泵油乳化、性能下降甚至損壞。
嚴(yán)禁堵塞排氣口:若在排氣口關(guān)閉或排氣側(cè)氣體通道堵塞的情況下運(yùn)行,泵內(nèi)部壓力可能異常升高,存在泵體爆裂、油位計(jì)彈出或電機(jī)過載的風(fēng)險(xiǎn)。這是必須嚴(yán)格遵守的安全紅線。
電機(jī)保護(hù):本泵電機(jī)內(nèi)置自動(dòng)復(fù)位型熱保護(hù)器,當(dāng)過載保護(hù)裝置啟動(dòng)時(shí),應(yīng)立即拔下電源插頭,查明原因后再重新啟動(dòng)。
GLD-137CC通過了多項(xiàng)國(guó)際安全與質(zhì)量認(rèn)證,彰顯了其品質(zhì):
TUV認(rèn)證:符合歐洲標(biāo)準(zhǔn),由國(guó)際第三方進(jìn)行產(chǎn)品安全測(cè)試與認(rèn)證。
cTUVus認(rèn)證:符合加拿大和美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)。
CE自我聲明:符合歐盟相關(guān)指令要求。
在真空技術(shù)日益精密化的今天,ULVAC愛發(fā)科GLD-137CC油回轉(zhuǎn)真空泵以其兩級(jí)排氣架構(gòu)、多重防護(hù)機(jī)制、寬電壓適應(yīng)性和國(guó)際安全認(rèn)證,為用戶提供了一個(gè)兼具高性能與高可靠性的真空解決方案。它不僅是一臺(tái)能夠穩(wěn)定獲得高真空的設(shè)備,更是連接科研探索與工業(yè)生產(chǎn)的可靠橋梁。
無論是在半導(dǎo)體制造的精密工藝中,還是在基礎(chǔ)科研的實(shí)驗(yàn)臺(tái)上,GLD-137CC都以其靜默而穩(wěn)定的運(yùn)行,詮釋著“愛發(fā)科"作為真空技術(shù)的專業(yè)承諾。對(duì)于追求真空品質(zhì)與長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定性的用戶而言,GLD-137CC無疑是一個(gè)值得信賴的選擇。
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